科迪普靶材超声波清洗维护指南:延长寿命30%

走进任何一家半导体实验室,你都能看到那些闪着金属光泽的科迪普靶材安静地躺在无尘柜里。这些看似不起眼的金属片,实际上决定着整个镀膜工艺的成败。



靶材表面的清洁程度有... 显示全部

走进任何一家半导体实验室,你都能看到那些闪着金属光泽的科迪普靶材安静地躺在无尘柜里。这些看似不起眼的金属片,实际上决定着整个镀膜工艺的成败。

靶材表面的清洁程度有多重要?想象一下,即便是肉眼看不见的微小颗粒,也会像多米诺骨牌一样引发连锁反应——镀膜不均匀、设备性能下降,最终导致产品良率暴跌。而超声波清洗,恰恰是解决这个问题的绝佳方案。当高频振动在液体中形成无数微小的气泡并瞬间破裂时,产生的冲击波能够深入到传统清洗方法无法触及的微观缝隙。

实际操作中,我们发现很多技术人员都低估了清洗液pH值的重要性。那个标着7.5-8.5的范围可不是随便写的——偏酸性会腐蚀靶材表面,碱性太强又会影响后续工艺。至于8-12分钟的清洗时间,其实可以根据污染程度适当调整,毕竟每批靶材的使用情况都不尽相同。

说到日常维护,有个细节往往被忽视:氮气吹干后最好再静置半小时。实验室的张工告诉我,这样能让残留的水分彻底挥发,避免在真空环境下产生气泡。存放环境的温湿度控制也很讲究,25℃的恒温环境配上45%以下的湿度,能让靶材保持最佳状态。

有意思的是,自从我们开始严格执行每50小时深度清洗的规范后,不但靶材寿命显著延长,连镀膜机的故障率都下降了近两成。看来,这些看似繁琐的维护步骤,其实都是在为产品质量保驾护航。

2026-01-14 13:24 分享

科迪普靶材超声波清洗靶材维护延长使用寿命

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