宝鸡科迪普高纯钨靶材定制指南:99.999%纯度半导体应用
芯片制造的隐形功臣:高纯钨靶材
在半导体行业里,宝鸡科迪普那款纯度达到99.999%的钨靶材,就像是芯片制造流水线上的无名英雄。你可能想象不到,当芯片制程工艺突破7纳米大关时,对溅射靶材的要求几乎到了吹毛求疵的地步。而这款5N5级高纯钨靶材,恰恰能帮助减少薄膜中的缺陷——那些肉眼看不见的微小瑕疵,往往决定着芯片最终的良品率。

靶材定制的艺术
说起半导体级钨靶材的定制,倒像是给芯片制造准备精密的画笔。直径公差要控制在±0.5mm以内,表面粗糙度Ra值不能超过0.4μm——这个数值比大多数镜面还要精细。更关键的是晶粒尺寸,必须压制在50μm以下。宝鸡科迪普的热等静压工艺确实有两把刷子,能把靶材密度做到理论值的99.5%以上。有意思的是,他们的XRD检测报告显示,(110)晶面取向占比居然超过了80%,这在业内算是相当亮眼的数据了。
纯度背后的故事
要达到99.999%的纯度标准,可不是简单地把原料提纯几遍就能搞定。他们用GDMS检测了17种杂质元素,每种都得控制在1ppm以下——这个标准严格到什么程度?相当于在10吨材料里,杂质不能超过10克。电子束熔炼加区域熔炼的双重提纯工艺,把氧含量压到了5ppm以下,碳含量更是控制在3ppm以内。说实话,能做到这个程度,在业内已经算是顶尖水平了。
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